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隨著新材料的不斷涌現，越來越多的科研院所認識到等離子技術的重要性并投入巨資進行技術研究，等離子技術在其中發揮了重要作用。但是，對影響等離子清洗結的因素處理不當，會影響等離子清洗物體表面的鍵合問題。在等離子脫膠法中，脫膠氣體為氧氣。工作原理是將硅片置于真空反應系統中，通入少量氧氣，加1500V高壓，由高頻信號發生器產生高頻信號。這會產生強烈的電磁波。電磁場在石英管中形成，石英管將氧電離形成氧離子。

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