其中,對玻璃又有一附著力的物質(zhì)物理反應(yīng)機制是活性粒子轟擊待清洗表面,使污染物脫離表面最終被真空泵吸走;化學反應(yīng)機制是各種活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì),再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì),從而達到清洗目的。 我們的工作氣體,經(jīng)常用到氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、甲烷(CF4)等。
等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,對玻璃又有一附著力的物質(zhì)但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
當電子在電場中加速時,附著力的評價標準是什么會獲得高能量,與周圍的分子或原子發(fā)生碰撞。因此,電子在分子和原子中被激發(fā),它們處于被激發(fā)或離子狀態(tài)。此時,物質(zhì)存在的狀態(tài)是等離子體狀態(tài)。輝光放電條件下,在高頻電場中處于低壓狀態(tài)的氧氣、氮氣、甲烷、水蒸氣等氣體分子可以分解加速的原子和分子,這樣產(chǎn)生的電子可以解離成帶正負電荷的原子和分子。當電子在電場中加速時,會獲得高能量,與周圍的分子或原子發(fā)生碰撞。
例如,對玻璃又有一附著力的物質(zhì)如果把帶正電荷的球體放在等離子體中,它會吸引等離子體中的電子,排斥這些離子,從而在球體周圍形成帶負電荷的球體“電子云”.真空等離子體清洗機中的等離子體具有振蕩特性:一般等離子體處于平衡狀態(tài)時,其密度分布在宏觀上是均勻的,而在微觀上則是有升有降,且不均勻,密度波動具有振蕩特性。
對玻璃又有一附著力的物質(zhì)
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當氣體的溫度升高時,此氣體分子會分離成為原子,若溫度繼續(xù)上升,圍繞在原子核周圍的電子就會脫離原子成離子(正電荷)與電子(負電荷),此現(xiàn)象稱為“電離”。因電離現(xiàn)象而帶有電荷離子的氣體便稱為“等離子(PLASMA)”。因此通常將等離子歸類為自然界中的“固體”、“液體”、“氣體”等物態(tài)以外的“第四態(tài)”。
附著力的評價標準是什么