等離子預(yù)處理可以去除表層的油脂和灰塵，硝基清漆附著力賦予材料高表面能。等離子預(yù)處理技術(shù)的清潔作用去除了表層的油脂，等離子的靜電引力去除了粘附在表層的塵粒，化學(xué)變化增加了表層的能量。這些層次的綜合作用使等離子預(yù)處理工藝成為一種高效的專用工具。在正常情況下，不需要額外的清洗工藝或使用等離子預(yù)處理的底漆處理。。等離子清洗技術(shù)在蝕刻工藝中的應(yīng)用概述等離子清洗的應(yīng)用始于20世紀(jì)初。隨著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，其應(yīng)用也越來越廣泛。

顯然，硝基清漆在鐵上的附著力雜散電位為負(fù)，在雜散襯底與等離子體的界面處形成了陽離子的空間電荷層。因此，所有絕緣體，包括放置在等離子體中的反應(yīng)器壁，形成離子鞘（如圖 1-3 所示）：圖 1-3 浮動(dòng)底物離子鞘等離子鞘，等離子一，是等離子體鞘的具體性能與系統(tǒng)溫度T和粒子密度n密切相關(guān)。通過研究鞘層可以理解等離子體的一些重要特性。。

轉(zhuǎn)瓶等離子清洗設(shè)備在實(shí)際應(yīng)用中經(jīng)常使用不同的工藝氣體，硝基清漆在鐵上的附著力產(chǎn)生的等離子體中含有大量的活性粒子和高能粒子，這些粒子與固體材料表面的相互作用對(duì)于等離子體本身或固體材料來說都具有重要意義。 轉(zhuǎn)瓶等離子清洗設(shè)備中的粒子將能量轉(zhuǎn)移到固體材料的表面，同時(shí)等離子體帶走大量雜質(zhì)。

3、電弧放電區(qū)域： 在電流超過10-1安、氣壓也較高時(shí)，硝基清漆附著力正柱區(qū)產(chǎn)生的焦耳熱大于顆粒擴(kuò)散帶向壁內(nèi)的散熱，使正柱區(qū)中心溫度升高，氣體電導(dǎo)率增大，使電流集中在正柱區(qū)中心，形成不穩(wěn)定的收縮。導(dǎo)電正柱會(huì)縮成一個(gè)具有較高溫度和較高電流密度的電弧，即弧光放電。電流密度為104~106安/厘米，在陰極上形成“陰極斑”，根據(jù)熱電子發(fā)射(熱陰極)或場致發(fā)射(冷陰極)的機(jī)理，放出電子。

硝基清漆在鐵上的附著力

1.3金屬半導(dǎo)體工藝中常見的金屬雜質(zhì)有鐵、銅、鋁、鉻、鎢、鈦、鈉、鉀、鋰等，這些雜質(zhì)的來源主要包括各種器皿、管材、化學(xué)試劑，以及半導(dǎo)體晶圓加工過程中發(fā)生的各種金屬污染。這類雜質(zhì)的去除常采用化學(xué)方法進(jìn)行。由各種試劑和化學(xué)藥品配制的清洗液與金屬離子反應(yīng)形成金屬離子絡(luò)合物，從晶圓表面分離出來。1.4氧化物暴露在氧氣和水中的半導(dǎo)體晶片表面會(huì)形成自然氧化層。

硝基清漆附著力