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外延片等離子體清洗設備

等離子體作為物質的第四種狀態，具有簡單、高效、環保的特點，可廣泛應用于各種材料中。污垢表面的殘留物，特別是經過機械和濕化學清洗后，通常是有機物。許多溶劑不能完全去除油脂、脫模劑、硅酮。如果這些物質留在表面，它們會干擾所有后續的加工步驟，特別是粘合和涂層。這些物質大部分可以通過氧等離子體去除，也可以通過空氣等離子體去除。低溫氧等離子體處理不僅可以提高表面親水性，還可以提高表面電導率和材料附著力。

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該報告強調等離子體的非冷凝系統性質，不包括純固態和液態。因此，等離子體是宏觀層面上電中性的電離氣體，是由電子、離子、自由基和各種活性基團組成的粒子集合。其中正電荷總數和負電荷總數在數值上相等，所以稱為等離子體。等離子體的定義不僅強調了等離子體在微觀層面上的電離特性，而且強調了等離子體在宏觀層面上的電中性。作為具有一定電離度的氣體等離子體，它與普通氣體的主要區別在于其組成和性質。

低溫等離子體廢氣處理設備是使用電子,各種離子、原子和自由基等活性等離子體和排氣污染物的影響,有效的凈化,沒有添加任何材料,適應性強的特點,低能耗,節能,安全可靠,廢料分子在很短的時間內攻擊，與攻擊的后續反應意圖與廢氣分化。低溫等離子體是材料繼固體、液體和氣體之后的第四種狀態。當施加的電壓達到氣體的點火電壓時，氣體被擊穿，混合物包括電子、各種離子、原子和自由基。

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