在這種情況下的等離子處理會產生以下效果：1.1灰化表面有機層－表面會受到化學轟擊（氧下圖）－在真空和瞬時高溫狀態下，無錫高附著力樹脂批發污染物部分蒸發.－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出－紫外輻射破壞污染物因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。1.2氧化物去除金屬氧化物會與處理氣體發生化學反應（下圖）這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時也采用兩步處理工藝。

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