(4)接觸時間:待清洗材料在等離子體中的接觸時間對清洗效果和等離子體工作效率有重要影響。接觸時間長，檢測附著力的膠帶清洗效果比較好，但工作效率低。(5)傳輸系統速度:對于常壓等離子體清洗過程，連續傳輸系統會涉及到大型物體的處理。因此,慢的相對運動對象清洗電極,處理的效果就會越好,但太慢會影響工作效率,另一方面,另一方面,會導致材料的表面的損傷,導致延長處理時間。

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不同的等離子體產生的自偏壓是不同的。超聲波等離子的自偏壓在0V左右，檢測附著力的膠帶高頻等離子的自偏壓在250V左右，微波等離子的自偏壓很低，幾十伏。三種等離子體的機理不同。超聲波等離子體產生的反應是物理反應，高頻等離子體產生的反應既是物理反應又是化學反應，微波等離子體產生的反應是化學反應。但由于40KHz是早期技術，射頻匹配后的能耗太高，實際作用于待清潔物體的能量還不到原始能量的1/3。

等離子清洗在清洗過程中通過射頻電源電離真空腔內氣體產生等離子體，油漆多長時間后檢測附著力等離子體具有高能量可以通過物理作用轟擊金屬表面使金屬表面的污染物從金屬表面脫落，其次電離某種氣體可以產生對應的活性粒子，活性粒子會與表面的有機物或者氧化物等發生化學反應進而生成易于揮發的物質可以被真空泵排出反應腔體達到清洗物體表面的效果。氣體所產生的自由基和離子活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應。

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等離子體處理被認為是固體、液體和氣體以外物質的“第四態”，近年來具有廣泛應用于工業、農業和生物醫學等諸多領域的潛力。研究員黃青與一家公司合作，提出了一項利用“等離子體生物技術”處理廢水和分解抗生素的計劃。最近，他們對抗菌藥物諾氟沙星進行了詳細研究，發現等離子體處理產生的臭氧可以使諾氟沙星脫氟，并裂解諾氟沙星的羧基和喹諾酮基團。

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