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深圳市金徠技術有限公司

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氧清洗

如果設備一直處于抽真空狀態,紫外臭氧清洗機增加親水性真空室內的真空度會不斷增加,分子之間的距離會增加,分子間的作用力會減小,使用等離子的清洗設備的等離子發生器產生的高壓交流電場它將激發 Ar、H2、N2、O2 和 CF4 等工藝氣體,并將其變為具有高反應性和能量的等離子體以防止它發生。半導體器件表面的有機污染。揮發性物質與細小顆粒反應生成揮發性物質,通過真空泵抽出,達到清洗、活化、蝕刻等目的。。

增加親水性的基團

與現有的光電器件相比,紫外臭氧清洗機增加親水性GAN光電器件表現出寬禁帶、高飽和電子漂移率、高熱導率、優異的熱穩定性等一系列優異的物理化學性能,成為當前高新技術領域。雖然 ALGAN/GANHEMT 組件的性能整體有所提升,但在真正商業化并用于電子設備之前,仍有許多問題需要解決。該器件具有一個導通電流。他們。等離子發生器的等離子處理是一種簡單方便的柵極表面處理方法,用于降低元件的閾值工作電壓,增加元件的導通電流。

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氧清洗(氧等離子體清洗機和紫外臭氧清洗機)

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