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深圳市金徠技術有限公司

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氟材料清洗

在液晶顯示器組裝中,氟材料清潔機器很多工藝都需要等離子加工技術,如玻璃基板蒸發(fā)和濺射形成ITO膜,造成玻璃表面的臟清洗困難,缺乏清洗效果,而等離子清洗可以有效去除油、污垢等污染物,達到超凈清洗的目的。ITO玻璃涂有光刻膠前的等離子體處理可以有效地提高表面潤濕性,去除污染物,減少氣泡產物,去除圖形轉移后殘留的化學劑。液晶模組粘接過程中去除有機污染物如膠水溢出、偏光片、防指紋膜等粘接物表面的清潔和活化。

氟材料清潔

經Ar/O2等離子體處理后,氟材料清潔可在含有-COOH的HDPE表面引入含氧官能團。在玻璃被清潔并被氬等離子激活后,表面含有-OH,APS的結構式為NH2C3H6Si(OC2H5)3,其中-OC2H5基團容易水解形成低聚物。這些低聚物可以與玻璃表面的-OH反應形成氫鍵,在干燥過程中脫水,形成共價鍵與玻璃表面連接。暴露在玻璃表面的-NH2可以與HDPE膜表面的-COOH發(fā)生化學反應生成銨鹽,在一定條件下生成酰胺。

射頻驅動低壓等離子體清洗的技能是一個有用的和低成本的方式清潔,可以刪除基材的外觀可能有有用的污染物,如氟化物,氫氧化鎳,有機溶劑殘留,環(huán)氧樹脂含量的溢出,氧化層的數據,等離子清洗和成鍵,顯著提高了焊合強度和焊合線張力均勻性,氟材料清潔機器大大提高了引線的焊合強度。采用氣體等離子體技術可以在鉛結合前對芯片接觸點進行清洗,提高了結合強度和屈服率。表3顯示了一個改進的抗拉強度比較的例子。

蝕刻是確定器件尺寸、厚度、外觀的關鍵技術,氟材料清潔機器參數失效對參數的影響非常大,如由于機器維護不充分而提示柵格尺寸偏差大,容易產生成品率損失,功能失效往往是晶圓片的缺陷造成的,缺陷包括晶圓上的物理異物、化學污染、圖形、缺陷和晶格缺陷等。等離子體刻蝕作為半導體制造中的關鍵工藝,對功能失效也有很大的影響。例如,粒子從反應室落在晶圓表面導致蝕刻阻塞,蝕刻時間不夠導致通孔和底層金屬斷開。

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