德拜屏蔽和等離子表面處理德拜長(zhǎng)度概述：當(dāng)電荷 q 的負(fù)電荷積聚在等離子體表面處理過(guò)的等離子體中時(shí)，涂料與PMMA的附著力由于該靜電場(chǎng)對(duì)等離子體中粒子的熱運(yùn)動(dòng)的干擾，電荷的群效應(yīng)是正離子被吸引到它周?chē)⑶译娮颖幌凇柏?fù)電荷”周?chē)纬梢粓F(tuán)帶正電荷的“正電荷”，如圖 1-1 所示。從遠(yuǎn)處看，“正電荷”形成的云層減弱了“負(fù)電荷”的作用。也就是說(shuō)，它削弱了遠(yuǎn)距離帶電粒子上的“帶負(fù)電”庫(kù)侖力。
等離子蝕刻機(jī)主要利用射頻等離子源(也有微波離子源)刺激反應(yīng)氣體產(chǎn)生等氣體離子對(duì)目標(biāo)物體進(jìn)行物理轟擊，pmma 真空鍍 附著力以達(dá)到清除指定物質(zhì)的手段。由于反應(yīng)強(qiáng)度要求較大，所以等離子蝕刻機(jī)基本上是利用射頻等離子體產(chǎn)生的。同樣，控制等離子體源的功率和其他相關(guān)參數(shù)可以降低反應(yīng)強(qiáng)度，從而可以清洗常見(jiàn)的電子元器件以去除污染物。從這個(gè)意義上說(shuō)，他們可以分享。但在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，蝕刻和清洗兩個(gè)工作步驟往往是分開(kāi)的，不共用一套設(shè)備。
所以我們通常看到的是真空等離子體清洗機(jī)，涂料與PMMA的附著力當(dāng)機(jī)器啟動(dòng)時(shí)，真空室顯示為暗紅色，表明真空等離子體正在產(chǎn)生反應(yīng)。在相同的放電環(huán)境下，氫氣和氮?dú)猱a(chǎn)生的等離子體顏色為紅色，而氬氣等離子體的亮度低于氮?dú)猓哂跉錃猓容^容易區(qū)分。的過(guò)程中去除晶片表面的顆粒,玻璃和其他產(chǎn)品,等離子體通常是用來(lái)轟擊粒子表面的材料,實(shí)現(xiàn)粒子的分散和放松,然后離心清洗和其他處理過(guò)程,將會(huì)有一個(gè)顯著的影響。它在半導(dǎo)體封裝應(yīng)用中尤為突出。
與燒灼相比，pmma 真空鍍 附著力等離子處理不會(huì)損壞樣品。同時(shí)，它可以非常均勻地處理整個(gè)表面而不會(huì)產(chǎn)生有毒氣體，即使是有空洞和縫隙的樣品也是如此。。
（PMMA）聚甲基丙烯酸甲酯表面的改性.jpg)
劑（蒸發(fā)pmma鍍膜附著力）.jpg)
劑pm_2（什么基團(tuán)對(duì)玻璃附著力好）.jpg)