請記住,mgo表面改性處理效果好磁隧道結(jié)的形狀不僅會影響設(shè)備的性能,還會影響等離子清潔器的蝕刻過程。例如,蝕刻圓柱形或環(huán)形圖案相對容易。報道的磁性隧道結(jié)所用材料含有Fe、Co、Ni、Pt、Ir、Mn、Mg等金屬元素,通常為1nm左右的單層材料,由5~10層構(gòu)成。 (合金或金屬氧化物)。因此,磁記憶等離子清洗機(jī)等離子刻蝕面臨的挑戰(zhàn)是: (1) 常規(guī)反應(yīng)等離子體(RIE)面臨金屬蝕刻副產(chǎn)物不揮發(fā)的問題。
(2)真空泄漏試驗。在手動檢漏狀態(tài)下,mgo表面改性處理效果好開啟真空泵10min,記錄下較低的真空值,然后手動關(guān)閉真空電磁閥,同時開啟檢漏按鈕,數(shù)值為每分鐘3.2Pa/min≤6.0Pa/min,為合格。(3)咬蝕試驗:7~14mg/min合格。(4)均勻性試驗:75%以上為合格。(5)運行測試:運行24小時,無一例外。。
機(jī)器尺寸:11英寸H×18英寸W×9英寸DIn除了兩個傳統(tǒng)的等離子清洗機(jī),MgO表面改性PDC 32G-2基地和PDC 002擴(kuò)展,我們還提供以下配件選項:PDC -fmg-2 PlasmaFlo空氣混合器(230 VOLTS) PDC -vp-2真空泵230V豪華版(包括管,管夾,進(jìn)口適配器,PDC- vp-油高級真空泵OILPdc-vpe-2基礎(chǔ)真空泵230V(含管和管卡)PDC -vpe-油基礎(chǔ)真空泵OILPdc-32t石英樣片(適用于PDC- 32g -2基礎(chǔ)型等離子清洗機(jī))PDCPyrex Chamber (for PDC-002 extended Atmospheric plasma cleaner)Pyrex Chamber (for PDC-32G-2 extended Vacu...