低溫等離子廢氣處理設備低溫等離子體廢氣處理設備是一種高效凈化、無需添加任何材料、適應性強、能耗低、節能、安全可靠的廢氣處理設備，電芯等離子清洗設備低溫等離子體廢氣處理設備采用電子、各種離子、原子和自由基等反應等離子體與廢氣中的污染物作用，使凈化氣體分化。

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直流±500kV絕緣金屬閉式電源開關，電芯等離子體表面處理設備用于阿安換流站長期降壓±250kV。施耐德企業采用由550kVGIS和800kvGIS組成的DC GIS。±500kVGIS長周期運行。高絕熱余量保證了直流電氣氣體絕緣設備安全(充分)運行，不僅增加了設備體積，而且造成經濟效益差，不利于GIL的大規模推廣。因此，等離子體設備是必要的。GIL絕緣氣體絕緣電纜(SF6氣體或SF6氣體使用N2混合物等。

電芯等離子體表面處理設備

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為了使氮氣DBD在常壓下均勻放電，氣隙厚度D有一個上限，這其實并不難理解:在均勻電場中，電子雪崩的發展與EXP (AD)成正比。因此，相對于較大的間隙距離D，氮中電子雪崩的強烈發展將轉變為流放電。

當注入能量為87kW.h/(N?m3)時，甲烷轉化率為64%，二氧化碳轉化率為54%。加侖等、品浩等分別研究了DBD放電等離子體作用下CH4和CO2的重整反應。結果表明:重整反應主要產物為合成氣，只生成少量碳氫化合物(主要為C2H6);而在DBD放電等離子體作用下，CH4和CO2重整反應的反應物轉化率較低，但反應能耗較高。Li等分別研究了CH4和CO2在直流電暈放電和交流電暈放電作用下的重整反應。

電芯等離子清洗設備

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有些工藝使用化學品處理這些橡膠表面，電芯等離子體表面處理設備以改變材料的粘結，但這種方法不容易掌握。化學品本身具有腐蝕性，工藝非常復雜，成本高，而且化學品對橡膠材料原有的優良性能也有影響。這些材料是用等離子體技術進行表面處理的。