通過將樣品放入反應室，濺射鍍膜附著力大原因真空泵在一定程度上啟動真空泵，打開電源產生等離子體，然后將氣體引入反應室，反應室中的等離子體變成反應等離子體，這些。等離子體與反應等離子體結合。樣品表面反應產生揮發(fā)性副產物，這些副產物由真空泵抽出。等離子清洗技術利用等離子在低溫下產生非平衡電子、反應離子和自由基的能力。等離子體中的高能反應基團與表面碰撞，引起濺射、熱蒸發(fā)或光解。

等離子體清洗等離子體表面清洗離子清洗是通過物理濺射或氣體電離后產生的等離子體在污染表面上的化學反應來分解污染物，濺射鍍膜附著力大原因分解后的產物隨氣流從表面帶走，得到干凈干燥的表面。

一篇文章讀懂等離子體刻蝕1.Plasma：廣泛應用而又雜亂的物理進程等離子體刻蝕在集成電路制作中已有40余年的發(fā)展歷程，濺射鍍膜附著力大原因自70年代引入用于去膠，80年代成為集成電路范疇成熟的刻蝕技能。

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自由基的用處主要是反映在化學反應環(huán)節(jié)中勢能傳輸?shù)模ɑ睿┗锰帲ぐl(fā)模式的自由基勢能高，易于與物質表層分子結合產生新的自由基，新產生的自由基也處于不穩(wěn)定的高能模式，很可能發(fā)生分解反應，在變成 小分子的同時轉化成新的自由基。這種化學反應環(huán)節(jié)可能會繼續(xù)進行，分解成H2O、CO2等簡單分子。

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如低壓直流常壓下輝光放電、高頻感應輝光放電和DBD介質阻擋放電產生的冷等離子體。。