圖一 物理等離子清洗化學(xué)等離子清洗過程:清洗物的表面主要是以化學(xué)反應(yīng)的形式表現(xiàn)作為主要的清洗目的,增強(qiáng)油漆附著力彮劑主要通過氧氣,即在真空反應(yīng)室中通過射頻或微波能量使氧氣電離成等離子體,該等離子體中包含離子、原子、分子及電子與有機(jī)物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成CO2和H2O,然后經(jīng)真空泵將其抽走,達(dá)到清洗目的,如圖2所示。

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AMAT的臺(tái)面甚至日立的8190XT通過同步脈沖實(shí)現(xiàn)了低電子衰落。同步脈沖是指源功率和底電極偏置功率的同步開關(guān)。關(guān)閉時(shí),增強(qiáng)油漆附著力的界面劑等離子體清潔器等離子體中的電子大大減少,等離子體由電子-離子型轉(zhuǎn)變?yōu)殡x子-離子型。同時(shí),由于底部電極表面鞘層的消失,使得更好地控制等離子體中的正負(fù)分離成為可能。RLSA通過空間擴(kuò)散實(shí)現(xiàn)離子-離子等離子體,MESA/8190XT通過時(shí)間(等離子體切換)實(shí)現(xiàn)離子-離子等離子體。

如果說水是生命中不可或缺的物質(zhì),增強(qiáng)油漆附著力彮劑那么太陽同樣是我們生命中不可或缺的物質(zhì)。當(dāng)我們仰望夜空中的星星時(shí),你會(huì)看到數(shù)十億或數(shù)萬億英里外的恒星發(fā)出的可見輻射。同樣地,當(dāng)你在地球上享受太陽的光芒照在臉上時(shí),你也會(huì)被同樣的輻射加熱,這種輻射是從我們太陽系的恒星中釋放出來的能量。大多數(shù)人不知道的是,這種能量是太陽核心發(fā)生核聚變的結(jié)果。核聚變導(dǎo)致大量的氫被用作能源。

在這個(gè)裝置中,增強(qiáng)油漆附著力的界面劑兩個(gè)電極被放置在一個(gè)封閉的容器內(nèi)以形成一個(gè)電場(chǎng),一個(gè)真空泵提供真空。隨著氣體越來越稀薄,分子結(jié)構(gòu)與分子結(jié)構(gòu)或離子自由運(yùn)動(dòng)的距離越來越大。它們?cè)陔妶?chǎng)的作用下與等離子體碰撞形成等離子體。它的活性非常高,能量轉(zhuǎn)換足以破壞幾乎所有的離子鍵,并且在暴露的表面上會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在真空下,等離子體對(duì)工件表面進(jìn)行化學(xué)或物理處理,以去除分子結(jié)構(gòu)水平(通常為 3 至 30 納米厚)。

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