處理方法：用蘸有酒精或丙酮的干凈布（紙）清潔玻璃，咸陽氧等離子體清洗機或直接更換真空玻璃。 3、真空泵使用的油是一種特殊的抗氧化油。及時更換有助于真空泵正常運行，延長泵體壽命。我們建議您每 3 個月更換一次。如果真空泵內油量充足，觀察油位的警示表指示的油位低于使用下限（油位表旁邊有明顯標記） 注入新油時間到正常的油耗。三、更換真空泵油的具體步驟： 1.打開真空泵注油口的注油塞（六角扳手）。

1、真空室和真空系統固定在柜體框架上。機柜框架尺寸為1722X1060X1840。左右有可移動的門，氧等離子體處理硅片背面有兩個相對的門。因此，內部維護真空室和真空系統非常重要。方便的。真空室尺寸為600X600X600，可同時加工9層550X550尺寸的工件。真空室和真空閥固定在框架上。

此外，氧等離子體處理硅片如果必須保持氧氣的流動，真空度越高，氧氣的相對比例就越高，產生的活性粒子濃度也越高。但是，如果真空度太高，活性粒子的濃度反而會降低。四、氧氣流量的調節：氧氣流量大，活性粒子密度大，脫膠速度加快，但流量過大，離子復合概率增加，電子平均自由程增加。運動會更短，電離強度也會降低。

當樣品放入反應室時，咸陽氧等離子體清洗機真空泵啟動真空泵到一定程度，接通電源產生等離子體，氣體通過反應室內的等離子體進入反應室，樣品并且易揮發 產生的副產品。它由真空泵提取。 1. 等離子體在宏觀上是電荷平衡的。通常，等離子體是電荷平衡的，但如果受到影響，等離子體內會發生局部電荷分離，從而產生電場。

氧等離子體處理硅片

, 由各種梯度引起的漂移運動引起；由速度分布焦慮引起的損失錐不穩定性；以及波間相互作用引起的參數不穩定性。微觀不穩定性理論是基于動力學理論的。換句話說，它是從 Vlasov 方程研究的。線性理論通常用于研究不穩定性，它只能確定系統是否穩定，并且在某些情況下可以給出不穩定性在第一時刻的增長率。如果在適當的條件下擾動幅度增加并且演化趨于飽和，則應使用非線性理論對其進行研究。

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