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工作時，清洗腔內的等離子體輕輕沖刷被清洗物體表面，經過短時間的清洗，有機污染物就能被徹底清洗干凈。同時通過真空泵將污染物抽走，清潔程度達到分子級。等離子體清洗劑不僅具有超清洗功能，在特定條件下還可以根據需要改變某些材料的表面性質。等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學鍵重新結合，形成新的表面特性。等離子體吸塵器的輝光放電不僅增強了某些特殊材料的粘附性、相容性和潤濕性，而且對某些特殊材料具有消毒殺菌作用。

電感耦合等離子體中的電子繞磁力線運動，比電容耦合機中的自由程大，能在較低的壓力下激發等離子體。等離子體密度比電容耦合等離子體高約兩個數量級，電離率可達1%～5%。等離子體的直流電位和離子轟擊能量約為20～40V。與電容耦合等離子體相比較；ICP的離子通量和離子能量可獨立控制。為了更好地控制離子轟擊能量，通常將另一個RF電源電容耦合到放置襯底的晶圓上。

它的激發氧原子比普通氧原子更活躍，能氧化污染潤滑油和硬脂酸中的碳氫化合物，將其轉化為二氧化碳氣體和水。同時，等離子清洗機的射流還具有機械沖擊力，起到擦洗作用，使玻璃表面的污染物快速從玻璃表面分離出來，實現高效清洗效果。離子清洗機清洗玻璃表面層，除了機械作用外，主要是等離子體中活性氧、激發態Ar和氧分子被激發與氧分子碰撞而分解的化學作用。激發態氧原子在潤滑劑和硬脂酸之間被污染。

因此，今年以來，我國半導體行業新創企業數量激增，以芯片設計公司為例，近期統計數據顯示，截至2020年底，我國芯片設計企業已超過1萬家，其中2020年前8個月轉投芯片行業的企業多達9335家。市場預計，未來5年我國半導體總投資將達到9.5萬億元，資本市場將重新活躍起來。

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