等離子清洗的工作原理是利用真空泵將工作室進行抽真空達到30~50Pa的真空度，單根導體絕緣附著力再在高頻發生器交變電場的作用下將氣體進行電離，形成等離子態，其顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的彩色可見光，材料處理溫度接近室溫。活性等離子對被清洗物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，從而達到清洗目的。

前者代表從非熱平衡速度分布到熱平衡麥克斯韋分布的轉變，單根導體絕緣附著力后者代表物質、動量、能量等在空間流動中的穩定非熱平衡狀態。弛豫過程通常用各種弛豫時間來表示，其基本原理是帶電粒子之間的碰撞。帶電粒子之間的力是長期庫侖力，在德拜中，一個粒子可以同時與多個粒子進行長距離的相互作用，引起近距離碰撞（兩個粒子的近距離碰撞）和遠距離碰撞（兩個粒子的近距離碰撞）粒子）。一個粒子與遠處的多個粒子碰撞）。

通常情況下，單根導體怎么增加附著力物質以固態、商業態和氣態三種狀態存在，但在一些特殊情況下可以以第四種狀態存在，比如太陽表面的物質、地球大氣層電離層的物質等。這類物質的狀態稱為等離子體態，也稱為勢物質的第四態。以下物質存在于等離子體中。高速運動的電子；處于活化狀態的中性原子、分子和原子團（自由基）；電離原子和分子；分子解離反應過程中產生的紫外線；未反應的分子、原子等，但物質作為一個整體保持電中性。

自由基的用處主要是反映在化學反應環節中勢能傳輸的（活）化用處，單根導體怎么增加附著力激發模式的自由基勢能高，易于與物質表層分子結合產生新的自由基，新產生的自由基也處于不穩定的高能模式，很可能發生分解反應，在變成 小分子的同時轉化成新的自由基。這種化學反應環節可能會繼續進行，分解成H2O、CO2等簡單分子。

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整個清洗過程可以在幾分鐘內完成，因此具有收率高的特點;六、等離子體清洗需要控制真空度Pa左右，這種清洗條件容易實現。

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