”小型高頻等離子/


操作性·功能
1 射頻13.56Mhz 0-200W高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進一步增加的操作的便捷性。
2 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器,實時顯示真空度,使得控制更為精確。
3 高硼硅玻璃腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的精元、硅片等樣品,無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?br />
安全性·保護
1 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈,可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
2 裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

產(chǎn)品優(yōu)勢
1 等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。
2 對清洗樣品,沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
3 等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
4 高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
5 特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可保證樣品可得到全面有效的清洗