較高的離子沖擊能量進一步提高了光刻膠的蝕刻速率，線纜plasma刻蝕但在非常低的溫度（<- °C）下，光刻膠的蝕刻速率降低到可以忽略不計的程度，導致能量的沖擊效應增加。抵消。對于低溫刻蝕，一個很重要的優點是等離子表面處理機刻蝕后結構的側壁粗糙度非常小。除了改善蝕刻各向異性以控制邊際尺寸外，這項研究還表明，等離子表面處理器的超低溫蝕刻工藝可以有效提高微觀均勻性并降低負載效應。

等離子表面處理機超低溫等離子刻蝕技術應用等離子表面處理機超低溫等離子刻蝕技術應用：巴克拉諾夫研究組等離子表面處理機在高溫下蝕刻多孔有機硅酸鹽（OSG多孔有機硅酸鹽），線纜plasma刻蝕這是一種低介電常數材料。這種材料通常用作半導體后端大馬士革工藝中的絕緣和填充材料。在本研究中，當等離子表面處理機的等離子刻蝕溫度低于- ℃時，這種材料在刻蝕過程中產生的low-k損傷急劇降低，介電常數沒有明顯增加，這一點被理解。

材料屬性沒有區別。發生了重大變化。同時，線纜plasma刻蝕機器該研究比較了不同偏置電壓下蝕刻過程中對介電材料的損傷。等離子表面處理機的低偏壓或零偏壓超低溫刻蝕顯著降低了低介電常數材料的PID，而材料的介電性能與刻蝕前相比沒有明顯變化。 2015年，佐治亞理工學院的赫斯研究組報道了在等離子表面處理設備中使用低溫氣體等離子蝕刻與方安一起蝕刻金屬銅、金和銀材料。

等離子設備噴涂與火焰和氣相表面噴涂技術的區別本文詳細介紹了等離子設備噴涂技術與火焰和氣相表面噴涂技術之間的區別。一、噴涂等離子裝置與氣相表面噴涂的區別 火焰噴涂 等離子裝置的噴涂技術是繼火焰噴涂之后大力發展起來的種類繁多的精密噴涂方法。 (1)具有超高溫特性，線纜plasma刻蝕可輕松實現高熔點材料的噴涂。 (2)顆粒噴射率高，涂層密度高，結合應力高。 (3)由于采用稀有氣體作為入口氣體，噴涂材料不易氧化。

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3、在金屬行業的許多金屬制品和各種鋼材中，等離子表面噴涂預處理時，表面進行等離子處理，以提高表面的附著力。噴涂金屬不僅延長了使用壽命，還增強了耐磨性，比非等離子處理耐磨20倍以上。 4、大家都知道，在汽車制造行業，汽車的密封性能需要非常好。等離子等離子處理設備用于不同類型的車門。在窗戶、內飾、燈和空調出口處部分噴涂橡膠密封件。這樣可以提高汽車的氣密性。

化學式表明典型的PE工藝是氧或氫等離子工藝。在與氧等離子體發生化學反應后，非揮發性有機化合物轉化為揮發性 CO2 和水蒸氣。去除污垢并清潔表面。離子氫用于通過化學反應去除金屬表面的氧化層，清潔金屬表面。反應氣體在一定條件下電離形成的高活性反應顆粒與待清潔表面發生化學反應，產物是一種可去除的揮發性物質，即洗滌氣體的化學成分。在成分方面，選擇正確的反應氣體成分非常重要。

在非均勻等離子體中，除了產生漂移波外，不同的波模在一定條件下還可以相互轉換。例如，您可以將異常波轉換為正常波或縱波。沖擊波、非碰撞沖擊波、孤立波等都是非線性波。考慮到非線性效應，不同的波形可以相互轉換并相互激發，而縱波可以被橫波激發。波特性理論不僅研究色散關系，還研究等離子體中波的相互作用以及等離子體中波與粒子的相互作用。以上是等離子清洗廠家的介紹，謝謝合作。

隨著供氣中CO2濃度從15%增加到85%，CH4的轉化率逐漸提高，從以下結果可以看出轉化率。 CO2 百分比變化的峰值。當CO2濃度為50%～65%時，達到24%左右。研究表明，在等離子等離子體的作用下，CO2 對 CH4 進行氧化的一個重要步驟是產生活性物質。即等離子體產生的高能電子與 CH4 和 CO2 分子發生彈性或非彈性碰撞。 CH 不斷被破壞。 , CHX (X = 1-3) 產生自由基。

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