可以看出通過等離子清洗過后，聚醚醚酮金屬附著力產品的性能改變得到了很顯著的提升。的優點： 處理速度快、清潔效率高、可靠度高 可控制低的離子能量、不損傷基板 。結合化學反應性及物理撞擊性，處理均勻性佳，設備可移除氧化物，可使用多種制程氣體，設備穩定高，容易維護。

。工作壓力對等離子清潔效果的干擾: 工作壓力是等離子清潔的重要參數之一。壓力的提升意味著等離子密度的提升和粒子平均能量的減低?；瘜W反應主導的等離子密度的提升可以顯著提高等離子系統的清潔速度，聚醚醚酮金屬附著力而物理轟擊主導的等離子清潔系統效果并不明顯。此外，壓力的變化可能會致使等離子清潔反應機制的變化。

一層面，提升聚醚醚酮的表面附著力低溫等離子發生器利用其高能顆粒的物理作用清洗易氧化或還原的物體，Ar+轟擊污垢形成揮發性污垢，由真空泵抽走，避免表面原料反應；另一方面，Ar容易形成亞穩態原子，接著在與氧氫分子碰撞時轉換和組合電荷，在物體表面形成氧氫活性原子。。

一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。清洗完畢后切斷高頻電壓，提升聚醚醚酮的表面附著力并將氣體及汽化的污垢排出，同時向真空室內鼓入氣體，并使氣壓升至一個大氣壓。給一組電極通上射頻電源，電極之間形成高頻交變電場，區域內氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體，活性等離子對物體表面進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，而達到表面處理的目的。。

提升聚醚醚酮的表面附著力

等離子體又稱等離子體，是一種被電離的氣體物質，由原子失去一些電子和原子電離后產生的正負電子組成。它廣泛存在于宇宙中，常被認為是除固體、液體和氣體外物質存在的第四種狀態。等離子體可分為兩類:高溫等離子體和低溫等離子體。低溫等離子體的電離率低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可以媲美室溫。

為便于比較，現將三種活化條件下的CO2氧化CH4制C2烴反應的結果列于表4-3，由表4-3 可見：在催化活化法中，當反應溫度高達1 K時，甲烷可以轉化為C2烴，雖然C2烴選擇性較高，但甲烷轉化率很低，因此C2烴收率僅為2%。

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聚醚醚酮金屬附著力