2008年底，等離子體發電機的能量轉化中芯國際（國際）獲得IBM的45納米（米）量產加工許可，成為中國第一家向45納米邁進的半導體企業。此外，在2008年前后的兩個階段，市場占有率較高的等離子發生器的趨勢與半導體行業的銷售趨勢一致，反映出清洗設備的需求穩定，單晶圓清洗設備是在市場上占據主導地位后，這個百分比顯著增加（顯著），反映了單晶片清洗設備和清洗程序對半導體材料行業發展的影響。
為什么單晶圓等離子發生器對半導體行業產生如此大的影響？就全球市場份額而言，等離子體發電機的能量轉化自 2008 年業界推出 45 NM 結以來，單晶片清洗設備作為主要的等離子發生器，其性能已超過自動清洗設備。據 ITRS 稱，2007 年實現了 45 NM 工藝結的量產。松下、英特爾、IBM、三星等在此期間，我們開始量產 45NM。
2008年底，等離子體發電機的能量轉化中芯國際（國際）獲得IBM的45納米（米）量產加工許可，成為中國第一家向45納米邁進的半導體企業。此外，在2008年前后的兩個階段，市場占有率較高的等離子發生器的趨勢與半導體行業的銷售趨勢一致，反映出清洗設備的需求穩定，單晶圓清洗設備是在市場上占據主導地位后，這個百分比顯著增加（顯著），反映了單晶片清洗設備和清洗程序對半導體材料行業發展的影響。
在 250-800 NM 波長范圍內，等離子體發電機的能量轉化甲烷轉化過程中產生的主要活性物種。等離子體的作用是 CH（430.1 至438.7 NM）、C（563.2 NM、589.1 NM）、C2（512.9 NM、516.5 NM）和 H（434.1 NM、486.1 NM 和 656.3 NM）。在等離子體放電區，首先產生高能電子。
等離子體發電機的能量轉化
忽略：CH2 + CH4 + M & MDASH;> C2H6 + M (3-14) CH + CH4 + M & MDASH;> C2H4 + H + M (3-15) C + CH4 + M & MDASH;> C2H4 + M (3- 16) C + CH4 + M & MDASH;> C2H2 + H2 + M (3-17) 另一方面，由于甲烷等離子體的發射光譜中存在 C2 物種，乙炔也可能是由以下途徑產生。
由于C2H6是甲烷脫氫偶聯反應的初級產物，C2H4和C2H2分別是C2H6和C2H4進一步脫氫的次級產物，因此存在以下反應途徑。研究了脈沖電暈等離子體中純乙烷和純乙烯的脫氫反應，純乙烷脫氫的主要產物是C2H4和C2H2，純乙烯脫氫的主要產物是C2H2。如圖3-20），等離子體作用下的甲烷脫氫偶聯反應有一條反應路徑。
Y-AL2O3催化劑當進一步增加時，不能增加C2烴類產品中C2H4的摩爾分數，而是促進C2H4轉化為C2H6，使C2烴類產品中C2H6的摩爾分數增加。活性成分 PD 和 LA2O3 的推薦負載量分別為 0.01% 和 5%。即催化劑為0.01% PD-5% LA2O3 / Y-AL2O3。
也就是說，單個甲烷分子的轉化往往會消耗多個高能電子。 CO2主要是一次分解，轉化一個CO2分子所消耗的高能電子數量少于甲烷。對于甲烷轉化，您需要選擇較低的功率密度。功率密度對C2烴和CO收率的影響隨著功率密度的增加呈線性上升趨勢，CO收率直線的斜率明顯高于C2烴收率。 C2烴收率方面，隨著功率密度從350KJ/MOL提高到2200KJ/MOL，C2烴收率從5.7%提高到20.6%，提高了近15個百分點。
等離子體發電機的能量轉化
當氣態物質被加熱到更高的溫度或氣體受到高能量作用時，等離子體發電機的能量轉化氣態物質轉化為等離子體體，這是第四態。在這種情況下，一些氣體原子解離成電子和離子，還有一些在成為具有化學活性的半穩定原子之前吸收能量。在這種情況下，不僅有具有一定能量的中性原子和分子，而且還有相當數量的帶電粒子和具有一定化學活性的半穩態原子和分子。電離自由電子的總負電荷和總正離子這種高度電離的微觀中性氣體稱為等離子體。
