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原子團等自由基與物體表面的反應 由于這些自由基呈電重型,存在壽命較長,而且在離子體中的數量多于離子,因此自由基在等離子體中發揮著重要作用,自由基的作用主要表現在化學反應過程中能量傳遞的"活化"作用,處于激發狀態的自由基具有較高的能量,因此易于與物體表面分子結合時會形成新的自由基,新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態,很可能發生分解反應,在變成較小分子同時生成新的自由基,這種反應過程還可能繼續進行下去,最后分解成水、二氧化碳之類的簡單分子。

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