用于大型腔體時，長沙pet附著力樹脂報價具有等離子體能量高、等離子體密度低、無需匹配、成本低等特點。公約為5千瓦至20千瓦。激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，其回波既有物理回波又有化學(xué)回波；常用的Z電源，其特點是等離子體能量低，但等離子體密度高。效果均勻，但成本略高。慣例是瓦特對0瓦特。

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1、電容耦合等離子體機(jī)臺：在兩個平行板電容器上施加高頻電場，反應(yīng)腔室中初始電子在射頻電場的作用下獲得能量，轟擊蝕刻氣體使其電離，產(chǎn)生更多的電子、離子以及中性的自由基粒子，形成動態(tài)平衡的低溫等離子體。在射頻電場的作用下，會形成垂直于晶圓的方向的自偏壓，進(jìn)而使得離子可以獲得比較大的轟擊能量。

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