等離子邊緣雕刻機(jī)是根據(jù)反應(yīng)室的結(jié)構(gòu)特別設(shè)計(jì)的，北京低溫等離子處理設(shè)備施工只對(duì)晶圓的邊緣區(qū)域進(jìn)行清洗和蝕刻。這對(duì)減少缺陷數(shù)量和提高良率具有積極作用。 1.電容耦合等離子體裝置：對(duì)兩個(gè)平行板電容器施加高頻電場(chǎng)，反應(yīng)室內(nèi)的初始電子在高頻電場(chǎng)的作用下獲取能量并與蝕刻氣體碰撞。為了將其電離并產(chǎn)生更多電子，離子和中性自由基粒子形成動(dòng)態(tài)平衡的冷等離子體。在高頻電場(chǎng)的作用下，形成垂直于晶片方向的自偏壓，因此離子可以獲得較大的沖擊能量。

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20世紀(jì)90年代以來(lái)，北京低溫表面等離子處理設(shè)備廠家紡織業(yè)的商場(chǎng)驅(qū)動(dòng)力包含：對(duì)設(shè)計(jì)和立異性面料更為關(guān)注，以及工業(yè)化國(guó)家對(duì)新技能添加投入，然后逆轉(zhuǎn)其紡織和服裝業(yè)的長(zhǎng)期頹勢(shì)。早期成功打入西方商場(chǎng)的東亞新式工業(yè)化國(guó)家開(kāi)端發(fā)現(xiàn)，他們?cè)械奈恢靡呀?jīng)開(kāi)端被新一代發(fā)展中國(guó)家所搶占。在整個(gè)紡織業(yè)工業(yè)鏈中，公司和國(guó)家間不斷發(fā)生著搶奪商場(chǎng)份額的劇烈競(jìng)賽，在競(jìng)賽中，技能發(fā)揮著要害性效果。

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由于CH3-CH3鍵的鍵能為3.8eV，而CH3CH2-H鍵的鍵能為4.2eV (等離子體中電子的平均能量為6eV)，所以C2H6分子在等離子體作用下按下列方式解離：C2H6 + e* → CH3 + CH3 + e (3-38)C2H6 + e* → C2H5 + H + e (3-39)同樣，CO2分子與高能電子發(fā)生非彈性碰撞促使C-O鍵斷裂，生成活性氧物種：CO2 + e* → CO + O- (3-40)CO2 + e* → CO + O +e (3-41)活性氧物種與C2H6分子發(fā)生非彈性碰撞終生成C2H4和C2H2：C2H6+0 →C2H4+H2OC2H6+O- →C2H4+H2O+e (3-42)C2H6+2O→C2H4+H2O C2H6+2O-→C2H2+2H2O+2e (3-43)因此，隨著反應(yīng)體系中CO2加入量的增加，更多的氧物種與乙烷反應(yīng)生成乙烯和乙炔。

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