這兩種氣體等離子體都是通過沿著石墨烯晶體表面的化學反應來蝕刻石墨烯的。不同的是，二氧化硅親水性氧等離子體在攻擊碳-碳鍵后會形成一氧化碳和二氧化碳等揮發性氣體。氫等離子體會與甲烷和碳氫化合物結合。2010年，中國科學院物理研究所張光宇發表了一篇以氫氣為主要氣體蝕刻單層、雙層石墨烯的文章。指出射頻功率是關鍵參數，功率太大容易將石墨烯蝕刻成深溝槽并形成大量缺陷。較強的等離子蝕刻將導致更寬的溝壑和更深的孔。
首先是硅提純，氣相二氧化硅親水性疏水性將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應(碳與氧結合，剩下硅)，得到純度約為98%的純硅，又稱作冶金級硅，這對微電子器件來說不夠純，因為半導體材料的電學特性對雜質的濃度非常敏感，因此對冶金級硅進行進一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態的氯化氫進行氯化反應，生成液態的硅烷，然后通過蒸餾和化學還原工藝，得到了高純度的多晶硅，其純度高達99.999999999%，成為電子級硅。
原子團等自由基與物體表面的反應： 由于這些自由基呈電重型，氣相二氧化硅親水性疏水性存在壽命較長，而且在離子體中的數量多于離子，因此自由基在等離子體中發揮著重要作用，自由基的作用主要表現在化學反應過程中能量傳遞的"活化"作用，處于激發狀態的自由基具有較高的能量，因此易于與物體表面分子結合時會形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態，很可能發生分解反應，在變成較小分子同時生成新的自由基，這種反應過程還可能繼續進行下去，最后分解成水、二氧化碳之類的簡單分子。
其最大的優勢在于能以極少的材料和能源消耗制備出基體材料難以甚至無法獲得的性能優異的表面薄層，氣相二氧化硅親水性疏水性從而獲得最大的經濟效益，它是一種優質高效的表面改性與涂層技術。 優質、高效的表面改性與涂層技術其范圍廣闊：如熱化學表面技術；物理氣相沉積；化學氣相沉積；物漓蠟學氣相沉積技術；高能等離體表面涂層技術；金剛石薄膜涂層；多元多層復和涂層技術；表面改性及涂層性能猜測及剪裁技術；性能測試與壽命評估等等。
二氧化硅親水性
等離子表面處理通常涉及以下反應過程： 1.首先，無機氣體被激發成等離子體狀態； 2.氣相物質通過作用吸附在固體表面； 3.吸附劑與固體表面分子反應產生產物分子； 4、然后產物分子分解形成氣相，實現反應殘渣的分離表面效果。。手機外殼種類繁多，外觀色彩更加鮮艷，色彩鮮艷，logo醒目，易脫漆，logo模糊，極大影響外觀形象的手機。
利用等離子處理時會發出輝光，故稱之為輝光放電處理。 等離子體處理的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發為等離子態；氣相物質被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子；產物分子解析形成氣相；反應殘余物脫離表面。
第四步:點擊觸摸屏參數設置，設定清洗時間，按下啟動按鈕，30秒后發光將開始，調整電源旋鈕和進氣大小(空氣)。第五步:待清洗時間結束，卸壓完成，打開箱門，用鑷子將清洗后的金屬試樣取出，放在白紙上。第六步:用移液槍將一滴蒸餾水緩慢滴在清洗過的重油污金屬上，仔細觀察液滴的形狀和擴散情況。然后，與測試結果相比，清洗前的水滴水滴在金屬表面呈圓形，形成水滴，接觸角約為90度，清洗前的金屬具有疏水性。
行業應用特點：a.工序簡單，實際操作方便，生產加工速度快，加工效果非常好，環境污染問題小，環保節能等優點；b.在等離子體技術改性過程中，等離子體技術提高了塑料的潤濕性；c.等離子表面處理器應用于塑料窗玻璃、汽車百葉窗、霓虹燈、鹵素天燈鏡的加工；D.滌綸織物堅固耐用，但結構緊湊，吸水性差，難以染色。低溫氮等離子體對滌綸織物進行丙烯酰胺接枝改性，使接枝滌綸織物的上染率顯著提高。染色深度E。
二氧化硅親水性
煙盒、酒盒、電子玩具產品盒）。提高工作效率，二氧化硅親水性減少粉碎污染，消除糊盒機紙塵污染，節省耗材，節省粘合劑成本（僅使用常規水性環保粘合劑）。數碼行業使用等離子表面處理機等離子表面處理機加工后，手機、筆記本等數碼產品的外殼噴涂，LOGO和裝飾條上膠，顯示屏上膠，膠水不開。已努力防止數碼產品外殼上的油漆剝落和鍵盤上的文字褪色。同時，去除靜電。等離子表面處理機在汽車制造行業的應用等離子表面處理機廣泛應用于德國汽車工業。
這些活性粒子和它們接觸的材料會發生物理和化學反應，氣相二氧化硅親水性疏水性從而改變材料外觀的化學和物理特性。因此，近年來低溫等離子體被廣泛用于表面改性，以改變其附著力、吸水性、著色性等性能。與傳統方法相比，等離子體處理具有明顯優勢：成本低、無浪費、無污染，有時還能得到傳統物理、化學方法難以得到的處理效果。等離子體表面處理技術作為一種新型的表面處理技術，有其共同的優點。等離子體技術采用氣相響應，全程無液體，響應迅速。
