目前常用的等離子體激勵頻率有三種:激勵頻率為40kHz的超聲波等離子體、激勵頻率為13.56mhz的射頻等離子體和激勵頻率為2.45ghz的微波等離子體。自給偏壓的非均勻等離子體不同,超聲波的自給偏壓等離子約為1000 v,射頻等離子體的自給偏壓約為250 v,自給偏壓的微波等離子體很低,只要幾十伏,和三個等離子體的機制是不同的。

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第四態：等離子體與固體相互作用的反應：等離子體是一種由無序運動的電子、離子、原子和分子組成的熱氣體，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固態、液態、氣態外，物質存在的第四態?？此?ldquo;神秘”的等離子體，其實是宇宙中一種常見的物質，它構成了恒星的內部，閃電的形成。

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