3等離子體清洗的類別 較基本的等離子體清洗設備由四大部分組成，電泳漆附著力訓練即激起電源、真空泵、真空腔、反響氣體源。激起電源是提供氣體放電能量來歷的電源，可以選用不同的頻率；真空泵的主要作用是抽走副產品，包括旋片式機械泵或增壓泵；真空腔內帶有放電電離的電極，將反響氣體變成等離子體；反響氣體源一般選用的氣體有氬、氧、氫、氮、四氯化碳等單一氣體，或兩種氣體混合運用。

如上所述，鋁合金噴漆面和電泳漆附著力EED的蝕刻技術改進已經在各種機器上商業化，并在3D半導體產品市場上擁有強大的存在感。在EED方向上的其他改進包括串聯ICP和使用脈沖產生負離子，然后通過束流能量控制區域形成中性粒子束流蝕刻。然而，后者的選擇比原則上是IED方向上的薄弱環節，uHF射頻源可以實現較窄的離子能量峰值，這有助于實現較高的蝕刻選擇比。

根據等離子體的作用原理，鋁合金噴漆面和電泳漆附著力可選氣體可分為兩類，一類是氫氣、O2等反應性氣體，其中氫氣主要用于清潔金屬表面的氧化物，產生化學反應。低溫等離子體發生器主要用于清除物體表面的有機物，產生氧化反應。清洗和腐蝕：例如，在清洗過程中經常使用O2。經過加速電子轟擊，形成氧離子和自由基，使其氧化能力極強。

它是由正離子轟擊陰極產生的二次電子發射維持的。電源可以是直流或交流。雖然可以生產典型的大體積強激發低溫等離子體，電泳漆附著力訓練但其工作壓力太低，不能在工業應用中連續生產，且應用成本高。目前主要用于半導體行業的清洗。Rf等離子體清洗機:Rf放電通常在低壓下操作，也可以在常壓下甚至壓力下操作，其特點是放電氣體不接觸電極。射頻放電是利用高頻電場對電抗器內的氣體進行放電，通過電感或電容的突變產生等離子體。

電泳漆附著力訓練

離子在金屬表面清洗過程中的作用另一方面，陽離子被帶負電的物體表面加速，獲得很大的動能，這會引起純物理碰撞，在物體表面產生污垢，會脫落。另一方面，陽離子的影響也會增加物體表面污染物分子活化的可能性。自由基在金屬表面清洗過程中的作用一般來說，血漿中存在自由基離子數量多，電中性，壽命比較長，能量比大。在清洗過程中，表面污染物分子很容易與高能自由基結合產生新的自由基。

鋁合金噴漆面和電泳漆附著力