.并且應用范圍更廣。研究表明，等離子體技術處理揮發性有機物的局限銅種子層的理想沉積溫度低于150°C，以形成幾納米厚的均勻連續的銅膜0-1。除了用還原性更強的二乙基鋅和三甲基鋁代替氫與銅前驅體反應，實現銅膜的低溫沉積（這種反應體系可以降低沉積溫度）。可以，但鋅和鋁）更常用的方法（領先銅膜性能差）該方法是引入基于熱ALD的等離子體技術來降低沉積溫度。

7.人工晶狀體疏水聚丙烯酸酯人工晶狀體具有優異的屈光度和柔韌性，等離子體技術處理揮發性有機物的局限表面粘度高，對后囊的附著力更強，有效抑制晶狀體上皮細胞的遷移和增殖，是一種減少后囊發育的新型軟質材料.不透明度。但由于聚丙烯酸酯具有高度疏水性，容易吸附細胞和細菌，使術后炎癥反應加重。使用冷等離子體技術改性表面可增加聚丙烯酸酯的表面能并改善其潤濕性。

等離子處理后的印刷提高了油墨的附著力，等離子體技術處理揮發性有機物的局限提高了耐老化性、耐環境性、耐久性，實現了優異的印刷效果（果），實現了印刷油墨的完美應用。 與電暈技術相比，大氣壓等離子體技術的處理效果均勻、無電位、熱敏感（感）材料表面層。 2.提高噴丸產品的粘合強度。在雙組分注塑和擠出成型過程中，表面活性劑可以使用等離子加工技術將兩種不相容的材料粘合在一起。

DBD等離子體和催化劑聯合作用的CH4和CO2重整反應 DBD等離子體和催化劑聯合作用的CH4和CO2重整反應：等離子體作用下CH4的CO2氧化轉化反應主要由自由基引發。 . C2烴的選擇性低。化學催化下的CO2氧化CH4轉化反應增加了目標產物的選擇性。例如，等離子體技術負載型鎳催化劑提供的目標產物為合成氣（CO+H2），以鑭系元素氧化物為催化劑的目標產物為C2烴。

等離子體技術處理揮發性有機物的局限

等離子放電激發產生大量高能電子與甲烷分子發生非彈性碰撞，將穩定的甲烷分子分裂成不同的活性基團，它們相互結合形成C2烴類產物。從能量上看，在等離子體的作用下，高能電子（1-20EV）的能量足以破壞CH4分子的CH鍵（CH鍵的平均鍵能為4.3EV，CH3. -H 具有 4.5EV 的解離能并在氣相中形成 CHX (X = 0-3) 自由基。

然后 CHX 自由基在固體表面（如容器壁和電極）上定向重組，形成以下產物：可從表面拆卸。在等離子體系統中，等離子體的主要作用是激活甲烷分子形成CHX自由基。自由基的類型和濃度由等離子體源及其能量相關參數決定。自由基由它們的表面性質控制如下。在傳遞能量進行自由基重組的同時，在表面上進行定向重組反應。大氣壓甲烷等離子體中的激發態活性物種可以使用發射光譜原位診斷技術進行診斷。

在 250-800 NM 波長范圍內，甲烷轉化過程中產生的主要活性物種。等離子體的作用是 CH（430.1 至438.7 NM）、C（563.2 NM、589.1 NM）、C2（512.9 NM、516.5 NM）和 H（434.1 NM、486.1 NM 和 656.3 NM）。在等離子體放電區，首先產生高能電子。

忽略：CH2 + CH4 + M & MDASH;> C2H6 + M (3-14) CH + CH4 + M & MDASH;> C2H4 + H + M (3-15) C + CH4 + M & MDASH;> C2H4 + M (3- 16) C + CH4 + M & MDASH;> C2H2 + H2 + M (3-17) 另一方面，由于甲烷等離子體的發射光譜中存在 C2 物種，乙炔也可能是由以下途徑產生。

等離子體技術處理揮發性有機物的局限

猜測是合理的。 + H + M & MDASH;> C2H + M (3-18) C2H + H + M & MDASH;> C2H2 + M (3-19) 在大氣壓脈沖電暈等離子體中，等離子體技術高能電子具有較寬的能量分布。等離子體子體內各種自由基的濃度不同，反應的主要產物是乙炔和氫氣，副產物是乙烯和乙烷。然后是 CH3 和 CH2。

當達到等離子體狀態時，等離子體技術處理揮發性有機物的局限氣態分子分解成大量高反應性粒子。這些裂變不是永久性的。當用于形成等離子體的能量耗盡時，各種粒子重新組合形成原始氣體分子。自1960年代以來，等離子體技術已應用于化學合成、薄膜制備、表面處理和精細化學品等領域。應用了所有干法工藝技術，例如等離子聚合、等離子蝕刻、等離子灰化和等離子陽極氧化。等離子清洗技術也是干墻進步的成果之一。